采用99.9%高純氧化鋁陶瓷（Al?O?）制成的引出電極和聚焦透鏡，其介電強度>15kV/mm，可在30kV高壓下保持絕緣穩定性。例如，在Varian 3100離子注入機中，氧化鋁陶瓷制成的離子束準直器通過納米級表面拋光（Ra<0.1μm），將束流發散角控制在&