碳化硅陶瓷的應(yīng)用有哪些？

    碳化硅陶瓷現(xiàn)如今是一種先進(jìn)的陶瓷材料，他具有很多的性能優(yōu)點(diǎn)，可圈可點(diǎn)的是他的導(dǎo)熱系數(shù)，他的導(dǎo)熱系數(shù)很好可以達(dá)到170W/m·k，他是半導(dǎo)體領(lǐng)域的經(jīng)常會(huì)用到的陶瓷，他還具有化學(xué)性能穩(wěn)定、熱膨脹系數(shù)小、硬度大、密度小、耐磨性能好等等優(yōu)良的特性，所以他被廣泛的應(yīng)用在各個(gè)領(lǐng)域

    在碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，主要有“碳化硅高純粉料→襯底→外延片→功率器件→模塊封裝→終端應(yīng)用”等環(huán)節(jié)。
雖然碳化硅作為陶瓷材料受到的關(guān)注度遠(yuǎn)不如其作為半導(dǎo)體材料，但其仍是一種應(yīng)用極廣的陶瓷材料，甚至已經(jīng)成為航空航天、光刻機(jī)在內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備等高精尖領(lǐng)域必不可少材料。

    在高端光刻機(jī)中，涉及高效率、高精度、高穩(wěn)定性的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和驅(qū)動(dòng)技術(shù)，對(duì)結(jié)構(gòu)件的精度和結(jié)構(gòu)材料的性能提出了極高的要求。碳化硅陶瓷具有極高的彈性模量、導(dǎo)熱系數(shù)和較低的熱膨脹系數(shù)，不易產(chǎn)生彎曲應(yīng)力變形和熱應(yīng)變，并且具有極佳的可拋光性，可以通過機(jī)械加工至優(yōu)良的鏡面，因此采用碳化硅陶瓷作為光刻機(jī)用精密結(jié)構(gòu)件材料具有極大的優(yōu)勢(shì)。在光刻機(jī)中碳化硅陶瓷主要用于制造E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁鋼骨架水冷板、反射鏡、導(dǎo)軌等部件。

    在刻蝕設(shè)備中，等離子體通過物理作用和化學(xué)反應(yīng)會(huì)對(duì)設(shè)備器件表面造成嚴(yán)重腐蝕，一方面縮短部件的使用壽命，降低設(shè)備的使用性能，另一方面腐蝕過程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)出現(xiàn)揮發(fā)和脫落的現(xiàn)象，在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生雜質(zhì)顆粒，影響腔室的潔凈度。因此，刻蝕機(jī)腔體和腔體部件材料的耐等離子體刻蝕性能變得至關(guān)重要。

    在刻蝕設(shè)備中，碳化硅被用于刻蝕機(jī)腔體和腔體部件、聚焦環(huán)、刻蝕環(huán)等關(guān)鍵部件。