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碳化硅陶瓷承載盤
  • 碳化硅陶瓷承載盤
產(chǎn)品名稱

碳化硅陶瓷承載盤

加工精度 0.01mm
是否定制 來(lái)圖定制加工
粗糙度 Ra0.05
材料成分 碳化硅陶瓷
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來(lái)廠參觀!
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    碳化硅陶瓷承載盤是半導(dǎo)體與光伏行業(yè)的核心承載部件,憑借材料特性滿足高精度生產(chǎn)需求。其硬度高達(dá)莫氏9.2級(jí),耐磨性強(qiáng),長(zhǎng)期承載晶圓或硅片時(shí)表面不易磨損,使用壽命是金屬承載盤的5-10倍。 碳化硅導(dǎo)熱率達(dá)100-200W/(m·K),能快速均勻散熱,避免加工中局部高溫導(dǎo)致的工件損壞。熱膨脹系數(shù)與硅材料接近,減少熱應(yīng)力引發(fā)的形變,鈞杰陶瓷保障加工精度。 經(jīng)精密加工,承載盤表面粗糙度達(dá)Ra≤0.05μm,平面度誤差≤5μm/m,配合微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定承載。其耐等離子體腐蝕、抗化學(xué)侵蝕,適配蝕刻、沉積等工藝環(huán)境,為量產(chǎn)的穩(wěn)定性與良率提供可靠支撐。

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